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矩形陰極電弧/磁控濺射復合型真空鍍膜設備

??? 矩形陰極電弧/磁控濺射復合型真空鍍膜設備采用矩形平面陰極電弧離子鍍膜技術和直流磁控濺射、中頻磁控濺射技術、脈沖偏壓技術結合在同一鍍膜機上,這種模式已成為當前五金類離子鍍膜主流技術。它既可以單獨用電弧或單獨用磁控濺射鍍膜,也可以利用兩種技術的優點在鍍膜過程不同階段發揮作用,比如在鍍膜初始利用電弧的高能粒子轟擊清洗和打底層,以增強膜/基結合力;隨后用中頻濺射鍍中間主層,以得到細膩光滑組織;再用直流濺射鍍頂層金等。該設備還可配離子源,可滿足多功能鍍膜的需要。這套真空鍍膜設備主要廣泛應用于工模具和中、高端衛浴產品鍍膜。
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